ミリ波(EHF)よりも、更に波長の短い電波。いわゆるマイクロ波の一つ。
可視光線に波長が近いため、性質は可視光線により似てくる。
水蒸気で吸収されるため天体から放射されてくるサブミリ波の観測も地上では困難だが、大気の水蒸気吸収の少ない高山(日本では唯一富士山の山頂)に電波望遠鏡を設置して観測する、という方法も用いられている。