ダイの大きさのこと。
ダイサイズが小さいほど、一枚のウェハーから製造できるチップの数が増加する。また同様に、ダイサイズが小さいほどダイにウェハーの不良部分を含む確率が低下するため、歩留まりも向上する。
このためダイサイズは、ICチップの製造原価に大きな影響を及ぼす。