四水素化シリコン。分子式SiH₄。分子量32.12。CAS番号7803-62-5。ICSC番号0564。モノシランともいう。融点竏�185℃、沸点竏�112℃。無色で特異な臭気を持つ。

半導体材料に使われるが、強力な還元剤でもあり、反応性が高く危険。そのため特殊材料ガス指定である。可燃性のガスであり、危険物の分類は、危険物第五類(自己反応性物質)に分類される。

また変異原性も確認されているため、扱いには細心の注意を要する。

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シリコン
変異原性

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