超純水
辞書：科学用語の基礎知識 化学物質用語編 (NSUBY)
読み：ちょうじゅんすい
外語：ultra pure water
品詞：名詞
非常に純度の高い
水
で、導電率0.06μS/cm以下のもの。
半導体製造や高度な化学実験などで使われる。
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