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半導体製造工程の一つ、半導体回路内の配線に用いられるポリシリコンの結晶成長を高温で行なうこと。高温は結晶の成長が早く、品質もよいが基板部に高耐熱性のものを使う必要がある。
それに対して、低温で結晶成長させたものを低温ポリシリコンと呼び、低温は基板部に比較的弱い基板を使用できる。
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