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最初の反応は、CNOサイクルにおけるpp Ⅲ分岐の最後と同じ。8Beは不安定なためすぐに4Heに崩壊してしまうが、ヘリウムの核融合が発生する段階では、融合と崩壊が概ね平衡状態となる。しかし、8Beの量が僅かに上回ることもあり、この時に12Cが作られる。
また、この過程で酸素16も作られる。
ヘリウム燃焼過程では、炭素12と酸素16は豊富に作られるものの、この次のネオン20やそれ以上が作られることはない。
炭素12と酸素16がヘリウム燃焼過程での成果物であり、燃えカスでもある。
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