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プラズマCVD

辞書:電算用語の基礎知識 計算機出力装置編 (TCPERIO)
読み:プラズマスィーヴィーディー
外語:Plasma CVD 英語
品詞:名詞
2001/04/01 作成
2008/07/06 更新

CVDの一種。原料となる気体をプラズマ化するのが特徴。

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